研究1 MHz覆液式兆聲波清洗噴嘴(Puddle Megasonic Nozzle)的各項(xiàng)性能參數(shù)，如兆聲波功率、覆液式噴嘴與清洗表面的間距(gap)，對含MoSi層的先進(jìn)光罩，

能達(dá)到無損傷、高效能的去微塵清洗。此外，文中亦以導(dǎo)電式原子力顯微術(shù)(Conducting Atomic Force Microscopy, CAFM)為工具研究以1 MHz覆液式兆聲波清洗噴嘴清洗后的金屬鉻二元式空白光罩(chrome binary blank)，其奈米等級的表面電氣特性，對于檢驗(yàn)先進(jìn)光罩(如EUV blank)于奈米尺度下的本質(zhì)缺陷(intrinsic defect)，具有相當(dāng)助益，CAFM在將來有機(jī)會成為有力的光罩檢驗(yàn)工具。 

 

　　總之創(chuàng)新半導(dǎo)體奈米技術(shù)將帶動行動運(yùn)算的技術(shù)起飛，驅(qū)動著數(shù)位生活的變革。目前各類行動運(yùn)算裝置如智慧型手機(jī)、平板電腦的重要核心技術(shù)隨著多媒體逐漸成為現(xiàn)代數(shù)位內(nèi)容的主流，優(yōu)異的圖像顯示與圖形運(yùn)算也在消費(fèi)大眾的生活娛樂與商務(wù)溝通中扮演要角。在云端無線聯(lián)網(wǎng)概念的蓬勃發(fā)展之下，智慧系統(tǒng)的應(yīng)用將充斥在未來的生活中，為人類打造更智慧的生活模式隨著智慧系統(tǒng)在數(shù)位家庭、車用電子、工業(yè)領(lǐng)域的大量應(yīng)用，嵌入式系統(tǒng)已然成為新一代明星技術(shù)。這些都需要先進(jìn)并節(jié)能的半導(dǎo)體與光電制程設(shè)備技術(shù)。