利用金屬的性質做零件與器件的潔凈存儲
事實說明:在同一表面,分子不僅進行物理吸附,而且也進行化學吸附。哈伊爾還報導過NiO --SiO,表而吸附CO的事例, 許多復雜的有機分子也產生化學吸附。加工面常常被真空泵、潤滑油、溶劑等有機物蒸氣所污染。后而將介紹檢測這些有機物蒸氣的方法,就是增大放在原始基片而后又放在暴露過的基片上的水滴接觸角來進行的。有一種檢測器是由輕微氧化的鎳片、鎳鉻片或用鋁片組成。吸附這些雜質好的是過渡族金屬,利用這種金屬的性質易于做到零件與器件的潔凈存儲。 幾種半導體表面的粘貼系數示于表6-0。這些數值僅僅表示氧分子與硅之間導致吸附的碰撞部分。數值均勻意味每一次碰撞都異致吸附。
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