電子器件制造中表面潔凈度應(yīng)符合什么標(biāo)準
把表面潔凈方面的這些缺點限制到很小程度或者消除掉,那么就可以通過這些表面測定出不同晶面的光電性質(zhì)、氧化邊度,以及材料的表面電性能,特別是與半導(dǎo)體性能有關(guān)的這些性質(zhì)。 關(guān)于表面潔凈度等級應(yīng)有的篆本原則,法士沃茨認為:“絕對的表面凈化是不可能的,對多數(shù)應(yīng)用來說,只要表面污染減至小限度,后沒有明顯的影響就行了。”這就或多或少為電子器件制造中所用凈化加工奠定了工藝基礎(chǔ)。表面潔凈度應(yīng)符合以下兩條標(biāo)準:(1)必須滿足下道工序的要求;(2)必須保證器件或設(shè)備更加可靠。
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