電子微探針分析器用來對氣體顯微基礎的分析數據
各種顯微鏡中,圖像是在同一瞬時形成的。還有三種儀器:掃描電子顯微鏡(STEM)、電子微探針分析器(EMA)和離子微分析器(IMA)。采用加速了的粒子細小聚光束轟擊樣品,前兩種是用電子束;后一種則用氣體離子束。聚焦光束在樣品上掃出的光柵,其方式和電視管的掃描光柵一樣。由這類儀器產生的圖像顯示在電視顯像管上,其光柵和儀器的光束掃描是同步的。在特定的瞬間,只有觀察區內的小點上發射出信號。 電子微探針分析器用來產生顯微基礎的分析數據,掃描電子顯微鏡主要用作放大儀器,兩者都采用聚焦電子束。若縮小電子微探針分析器的電子束直徑,并使掃描電子顯微鏡加上X一射線質譜儀,那么,這兩種儀器將有更多相互補充的功能。可以預料,將會出現一種儀器同時具有上述兩種儀器的功能。
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