本文標(biāo)題："透射電子顯微鏡的基本構(gòu)造"
發(fā)布者：YIYI ------ 分類: 技術(shù)文章 ------ 人瀏覽過 -----時(shí)間：2014-4-6 10:5:31
透射電子顯微鏡的基本構(gòu)造
透射電子顯微鏡是由電子光學(xué)系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，供電控制系統(tǒng)。附加儀器系統(tǒng)四
種裝置而構(gòu)成。
1，電子光學(xué)系統(tǒng)
照明系統(tǒng)，成像系統(tǒng)，觀察記錄系統(tǒng)
2，真空系統(tǒng)
一般負(fù)十的負(fù)五次方托，是由機(jī)械泵和擴(kuò)散泵完成
新型電鏡使用離子泵來提高真空度，可達(dá)十的負(fù)八次方托
3，供電控制系統(tǒng)
電子槍加速電子用小電流高壓電源
透鏡激磁用大電流低壓電源
4，附加儀器系統(tǒng)
EDS , WDS , EELS
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