掃描式電子顯微鏡的透鏡系統
透鏡系統中主要用的透鏡都是縮小透鏡,它的功能是將光斑縮小,縮小透鏡將電子槍發射的直徑三十微米的電子束縮成幾百分之一納米,它主要是由兩個聚光鏡與一個末透鏡所構成,三個透鏡的總縮小率大約是兩千到三千倍。兩個聚光鏡分別束第一個聚光鏡與第二個聚光鏡可將在陽極孔附近產生的交叉點縮小。
物鏡有分別有兩個極靴,一個為上極靴,另一個為下極靴,它的材料是由純鐵與鐵鈷合金構成極靴,并良好的具有
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